寫真化學(xué)膜厚測量裝置

標(biāo)準(zhǔn)型號可測量膜厚對象：

抗蝕劑厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

端點檢測

貼合晶片等

自動映射膜厚儀

可測量膜厚對象：

抗蝕劑厚度

貼合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

帶圖案晶片等

分為：標(biāo)準(zhǔn)型號、紅外透射式型號、自動映射膜厚儀、成像膜厚儀

寫真化學(xué)膜厚測量裝置

通用型膜厚監(jiān)視器(標(biāo)準(zhǔn)型號)

● 可用作端點監(jiān)視器

● 也可以對應(yīng)粘接劑層、玻璃層等通常較難測量的材料

通用型膜厚監(jiān)視器(紅外透射式型號)

● 對應(yīng)反射弱的薄膜材料

● 可對應(yīng)卷對卷測量

自動映射膜厚儀

● 除了高速自動映射、等高線、3D圖顯示之外，還自動解析直方圖等統(tǒng)計信息

● 標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)φ100～300mm的圓形晶圓，也可對應(yīng)方形被測物等特殊形狀，可選配定制載物臺板

● 可對應(yīng)選配項目中的自動校準(zhǔn)

成像膜厚儀

● 微細二維膜厚分布原位的可視化

● 通過在GUI上區(qū)域，計算微小區(qū)域的膜厚